Grundlagen der CMOS-Technologie

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In den letzten Jahren ist ein Rückgang an deutschsprachigen Büchern zur Halbleiterphysik, Halbleiterbauelementen und zur Fertigung integrierter Schaltungen zu beobachten. In Deutschland wächst die Halbleiter-Industrie jedoch überproportional, was zu einem Fachkräftemangel führt. Obwohl Englisch die Fachsprache ist, sind englische Fachbücher oft schwer erhältlich oder teuer, und viele deutsche Studierende haben Schwierigkeiten mit englischsprachiger Literatur. Dieses Lehrbuch richtet sich an Studierende an Universitäten und Fachhochschulen, die einen Einstieg in die Technologie der integrierten CMOS-Schaltungen suchen oder entsprechendes Hintergrundwissen benötigen. Es schließt die Lücke zwischen Halbleiterphysik und der Fertigung integrierter Schaltungen. Der Stoff wird durch zahlreiche Abbildungen und ausführliche Beispiele veranschaulicht. Auch Prozessingenieure und Schaltungsentwickler finden hier wertvolle Verbindungen zwischen ihren Bereichen, was das Verständnis und die Zusammenarbeit verbessert. Jahrelange Erfahrung zeigt, dass Entwicklung und Fertigung oft isoliert betrachtet werden, wobei Entwurfsunterlagen häufig die einzige Schnittstelle darstellen. Dies ist unzureichend, um alle kritischen Randbedingungen komplexer Schaltungen zu erfassen.