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Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники 8. Литографические процессы, V. F. Martynov, T. E. Bazarova
- Idioma
- Publicado en
- 1989
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- (Tapa blanda)
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- Título
- Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники 8. Литографические процессы
- Idioma
- Ruso
- Autores
- V. F. Martynov, T. E. Bazarova
- Editorial
- Vysšaja Škola
- Publicado en
- 1989
- Formato
- Tapa blanda
- ISBN10
- 5060010805
- ISBN13
- 9785060010800
- Serie