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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System, Ernst-Christian Richter
- Idioma
- Publicado en
- 2022
- Encuadernación
- (Tapa blanda)
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- Título
- Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
- Subtítulo
- DE
- Idioma
- Alemán
- Autores
- Ernst-Christian Richter
- Editorial
- utzverlag GmbH
- Publicado en
- 2022
- Formato
- Tapa blanda
- Páginas
- 88
- ISBN13
- 9783831686353
- Serie
- Categorías
- Etiquetas
- Naturaleza, Ciencias naturales
- Descripción
- Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System