Mikrosystemtechnik für Ingenieure

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Die völlig neubearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die neuesten Trends dieses sich rasch entwickelnden Gebietes der Ingenieurwissenschaften. Insbesondere die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark erweitert. Neu hinzugekommen sind anwendungsbezogene Aspekte in der Medizintechnik, Galvanik und Lithographie. Das Buch spricht überwiegend fortgeschrittene Studenten der Ingenieurwissenschaften an, die einen fundierten Einstieg in dieses aktuelle Forschungsthema suchen. Auch gestandene Fachleute können sich hier einen guten Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen. Aus den Rezensionen der ersten Auflage: "Das vorliegende Buch wird jedem Physiker und Ingenieur des Maschinenbaus, der Elektrotechnik und der chemischen Technik eine spannende und zur Innovation anregende Lektüre sein." Chemie - Ingenieur - Technik 2/94 "... führt didaktisch ansprechend und gut verständlich in diese neue Technologie ein." Zeitschrift für Metallkunde 9/93 "... eine sehr gut lesbare und auch sehr gut illustrierte Einführung in die halbleitertechnologischen Verfahren ..." Physik in unserer Zeit 7/93