Werkstoffe der Mikrotechnik

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Das Lehrbuch bietet eine systematische Darstellung der in der Mikrotechnik verwendeten Funktions- und Konstruktionswerkstoffe und soll Studenten an Universitäten und Fachhochschulen als Übersicht und Einführung dienen. Die Palette der Funktionswerkstoffe reicht in der Mikrosystemtechnik weit über die der Mikroelektronik hinaus, da sensorische und aktorische Wandlerfunktionen auf der Grundlage von Materialeffekten zu realisieren sind (Wandlung mechanischer, thermischer, magnetischer, optischer, chemischer Größen in elektrische Größen und umgekehrt). Als Konstruktionswerkstoffe für mikrosystemtechnische Komponenten gelten Werkstoffe für Substrate, Formkörper, elektrische Verbindungen, Gehäuse sowie Lote und Kleber. Diese Werkstoffe und ihre Eigenschaften werden besprochen. Darüber hinaus sind Grundlagen zur Herstellung und Bearbeitung von Einkristallen sowie Herstellung und allgemeine Eigenschaften von Gläsern und Kunststoffen zusammenfassend dargestellt.