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Einfluss der Aluminium-Mikrostruktur auf das Schädigungsverhalten von integrierten Schaltungen

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In integrierten Schaltungen sind die metallischen, stromführenden Bauteilkomponenten zyklischen thermo-mechanischen Belastungen ausgesetzt. Unter Anwendung der Kristallplastizität werden die Ursachen typischer Bauteilschäden simulativ untersucht und es werden Maßnahmen abgeleitet, um die Lebensdauer durch eine geeignete Al-Mikrostruktur und Bauteilgeometrie zu erhöhen. Zur Steigerung der Konvergenzgeschwindigkeit wird außerdem eine neue Methode zur numerischen Bestimmung der Tangentensteifigkeit vorgeschlagen.

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Einfluss der Aluminium-Mikrostruktur auf das Schädigungsverhalten von integrierten Schaltungen, Ingo-Felix Meier

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2018
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