Angewandte Mikrotechnik

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Dieses Buch gibt eine kompakte Einführung in die physikalisch-technischen Grundlagen und in die Fertigungsprozesse von 3 wichtigen Mikrostrukturierungstechniken, der LIGA-Technologie, der laserbasierten Mikrotechnik und der Mikrofeinwerktechnik. Darüber hinaus werden Beispiele von Produktanwendungen aus der Telekommunikation, der Antriebstechnik, der Medizintechnik und der Aktorik diskutiert. Es wendet sich in erster Linie an Studenten der technischen Fachbereiche von Fachhochschulen und Universitäten, ist allerdings auch für die berufspraktische Ausbildung geeignet. Darüber hinaus sind auch Ingenieure angesprochen, die in ihrer Berufsausübung einen Einstieg in die Mikrotechnologien finden wollen. Das Buch versteht sich als eine grundlegende Einführung in die Technologien und dient als Einstieg in die tiefere Beschäftigung mit dem Thema. Über die beigelegte CD-ROM findet der Leser Zugang zu einem weitaus detaillierteren Internet-Kurs, welcher die im Buch behandelten Problemfelder vertieft und über das Medium Internet eine multimediale Darstellung der Themen zuzüglich Kontakten zu Experten und Tutoren realisiert (http://www-ttec. rs. uni-siegen. de).