Verfahren zur mechanischen Erzeugung periodischer nanooptischer Strukturen mit monokristallinen Diamantwerkzeugen am Beispiel von Blazegittern

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Zielsetzung dieser Dissertation ist die Verbesserung der mechanischen Herstellung reflektiver Blazegitter in metallischen Schichten. Dazu wurde das konventionelle Verfahren „Ritzen“ eingehend untersucht und die daraus gewonnen Erkenntnisse zur Entwicklung neuer Verfahren herangezogen. Durch geeignete Modifikationen einer Ultrapräzisionszerspanungsmaschine konnten Umgebungseinflüsse reduziert werden und so die Fertigung mittels „Ritzen“, Prägen und Hobeln an einer Maschine realisiert und hinsichtlich Qualität und Fertigungsgeschwindigkeit verbessert werden. Durch Testreihen an unterschiedlichen Werkstückwerkstoffen und verschiedenen Gitterstrukturen wurden für jedes Verfahren geeignete Parameter identifiziert.