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Inhaltsverzeichnis1. Einleitung.2. Kristallqualität.2.1 Einkristallinität.2.2 Versetzungsdichte.2.3 Kristalldurchmesser.2.4 Verunreinigungen im Kristall.3. Beschreibung eines Kristallziehversuches.3.1 Vorbereitung.3.2 Durchführung.3.3 Versuchsende und Reparatur des Reaktors.4. Versuche zur Optimierung der Parameter.4.1 Aufbau der Apparatur.4.2 Bewegung des Keimhalters.4.3 Reproduzierbarkeit der Keimbewegung.4.4 Temperaturmessung und -regelung.4.5 Temperaturgradienten.4.6 Sichtverhältnisse.4.7 Ergebnisse.5. Meßtechnische Untersuchungen an GaAs-Einkristallen.5.1 Untersuchungen zu Löcher-Lebensdauern und -diffusionslängen in GaAs-Epitaxieschichtén.5.2 Gegenüberstellung von Meßverfahren.5.3 Zusammenstellung der Ergebnisse.6. Zusammenfassung.Abbildungen.Liste der Bezeichnungen zu Abschnitt 5.
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Herstellung und Untersuchung von Galliumarsenid-Einkristallen, Heinz Beneking
- Idioma
- Publicado en
- 1974
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