Ionenimplantation

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In den letzten Jahren wurden mehrere Bücher zur Ionenimplantation veröffentlicht, die sich hauptsächlich an Wissenschaftler in diesem Bereich richten und viel Raum für die Theorie bieten. Dieses Werk hingegen richtet sich an Forscher und Entwickler in der Industrie, Forschungslaboren und Hochschulen, die an Ionenimplantation als neuem Werkzeug zur Veränderung von Materialeigenschaften interessiert sind und herausfinden möchten, ob diese Methode für ihre spezifischen Probleme anwendbar ist. Daher liegt der Fokus auf der praktischen Anwendung und den Herausforderungen der Ionenimplantation, anstatt nur theoretische Grundlagen zu behandeln. Wichtige Themen sind die elektrische Aktivierung implantierter Ionen, Diffusionseffekte und die gängigen Messmethoden zur Untersuchung implantierter Schichten. Zudem werden die apparativen Anforderungen an Beschleunigungssysteme und zahlreiche Anwendungsbeispiele der Ionenimplantation vorgestellt. Die Schwerpunkte liegen auf der Dotierung von Halbleitern durch Ionenimplantation, da dies gegenwärtig und voraussichtlich auch in Zukunft die Hauptanwendung sein wird. Dennoch werden auch alternative Möglichkeiten der Implantation angesprochen.