El libro está agotado actualmente
Más información sobre el libro
The 14 papers in this volume cover topics such as the background to this approach and up-dated status; design and concepts of relevant cluster tools equipment; specific process modules such as deposition chambers (CVD, RTCVD, UVCVD) annealing or etching reactors; and standardization efforts.
Compra de libros
Single chamber processing, Yves I. Nissim
- Idioma
- Publicado en
- 1993
Te avisaremos por correo electrónico en cuanto lo localicemos.
Métodos de pago
Nadie lo ha calificado todavía.